基于微流量热导传感器的氢气浓度检测系统研究

摘　　　要：对氢气分析仪器中的核心传感器进行研究，采用基于ＭＥＭＳ工艺的微型热导传感器，代替现有分析仪器常用热导池检测器，设计了氢气浓度检测系统机械结构；设计信号调理电路，并在传感器外部设计环境温度控制电路，以实现传感器的恒温检测。传感器输出的微弱信号经测量电桥调理输出，通过集成运算放大器加法、放大运算，较后把标准电压信号送入单片机的测量系统进行后续处理；开发了基于单片机的信号调理、温度控制和电源控制模块，构建氢气浓度在线检测系统；从安全、节能的角度保证传...