CyberOptics将在SPIE高级光刻展会上演示新的ReticleSense空气颗粒传感器(APSR)

这一新系统能帮助光刻工程师改善系统设置，增加长期产量

电子组装和半导体制程设备的智能检测和感应解决方案全球领导者CyberOptics® Corporation (NASDAQ:CYBE)将在即将于2月23日至27日在加州圣荷西举办的SPIE高级光刻展会第305号展位上演示ReticleSense™空气颗粒传感器(APSR)。使用APSR，光刻工程师能够监测半导体制程设备内光罩所能到达位置的空气颗粒情况，从而改善系统设置，增加长期产量。

CyberOptics总裁兼首席执行官Subodh Kulkarni表示：“CyberOptics利用其当前的WaferSense®晶圆形空气颗粒传感器(APS)技术，打造出了光罩形状的APS。该产品是根据与光刻制程有关的半导体业世界领先公司的意见开发而成的。CyberOptics将在开创各项技术的丰富历史经验的基础上，继续开发高效的创新型解决方案，提升半导体工厂的生产效率，尽可能地减少半导体工厂的前期投资，削减成本。”

光刻工程师可放心地依赖此项专有技术，该技术是2011年推出的经过实践检验的WaferSense晶圆形空气颗粒传感器(APS)设备的进一步拓展，并且已经在全球各地的半导体工厂使用，包括三家较大的制造商，无污染环境对这些工厂来说至关重要。

CyberOptics销售和营销总监Mark Hannaford表示：“与传统方法不同，ReticleSense APSR可以让用户快速找出光罩环境下的地理颗粒源。此外，APSR能够抵达光罩可以前往的任何位置，能够采用任何光罩的运送方式运送，因而无需打开工具。使用ReticleSense和WaferSense测量设备的潜在好处包括提升工具的正常工作时间、优化维护作业和增加产量。”

除了新推出的ReticleSense APSR，CyberOptics还将展示其整个WaferSense产品系列。其中包括从2004年起便被半导体业采用的WaferSense晶圆形产品，该产品可提供水准测量、间隙测量、机器人教学、震动测量和空气颗粒检测解决方案。WaferSense产品提供200毫米、300毫米和450毫米晶圆尺寸。

关于CyberOptics

CyberOptics Corporation成立于1984年，是一家领先的传感器和检测系统供应商，为全球电子组装和半导体资本设备市场提供能够提升制程产量和处理量的解决方案。该公司正在将自身调整为一家面向电子和通用计量市场的高精度专有3D传感器开发商和制造商。该公司总部位于明尼苏达明尼阿波利斯，通过在北美、亚洲和欧洲的部门开展全球运营。

有关该公司预期业绩的陈述为前瞻性陈述，因此会受到风险和不确定性的影响，包括但不仅限于：全球SMT和半导体资本设备产业的市场条件；该公司产品销售尤其是其SMT系统所面临的不断加剧的价格竞争和价格压力；来自该公司OEM客户的订单水平；全球事件对该公司销售的影响，其中多数来自国外客户；竞争对手推出的新产品和定价情况；该公司在2013年余下时间内的收入和亏损情况；该公司2014年的收入水平和损益情况；能否成功把握预期新的OEM和较终客户机会；以及在该公司向美国证券交易委员会提交的文件中所规定的其他因素。

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