美国Siargo推出可在油气混合状态下测量的MEMS流量传感器

　　美国Siargo推出了试用于机床的MEMS流量传感器“FPX4008S”系列。主要用于测量油气混合物（压缩空气和油液的混合物）流速，并对机床机械部分轴承部位的油气混合物供应优化控制。此次通过配备压缩空气检测和油液检测二用的MEMS传感器，可在更接近轴承的位置进行检测。

　　Siargo的流量传感器芯片的工作原理是：当经微型加热器加热的流体流经传感器时，根据因流速和质量不同而产生的温度变化来测定流量。在2mm×4mm的硅底板上利用MEMS技术制造而成。MEMS流量传感器芯片委托德国microFAB Bremen. GmbH制造。

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