杜邦高推出性能弹性体KALREZ® 8900部件

在2008欧洲半导体设备与材料产业展览会上，杜邦高性能弹性体公司（DPE）重点推出专为半导体热处理过程开发的较新Kalrez® 8900全氟弹性体部件。Kalrez® 8900部件实现了在更高温度半导体制造过程中更长的密封寿命，减少了昂贵的设备停工时间，降低了设备拥有成本。

DPE还公布了Kalrez® 9100部件较近在沉积、蚀刻、灰化/剥离等制程上的成功商业化，并推出了可提高光伏生产密封可靠性的Kalrez®产品。

新型Kalrez® 8900部件

在半导体热处理工艺:如氧化、扩散炉、CVD、ALD 和LPCVD等的静态和动态的密封应用中，Kalrez® 8900部件使设备运转时间更长，表现优于传统工业设备维护标准。其综合性能可有效地延长设备密封寿命、提高产品质量和产能。

Kalrez® 8900部件即使在较高325摄氏度的环境下持续运作也表现出优异的热稳定性，极少漏气，抗温度循环影响表现也很出色，因而该产品已在各种严苛的半导体加工应用中成功通过测试，这些测试通常都在300摄氏度以上的高温环境下进行。推荐的应用领域包括石英管密封、高压密封、密封筒和中央环密封。

此次为严苛热环境推出的Kalrez® 8900部件使杜邦高性能弹性体的全氟弹性体产品系列更为完善，该系列产品包括Kalrez® 9100、Kalrez® Saharaä 8085、Kalrez® 8002和Kalrez® 6375UP等，已在晶片加工中有出色表现的产品。

Kalrez® 9100

DPE Kalrez® 9100全氟弹性体部件是较新的半透明琥珀色产品，专门针对在HDPCVD、PECVD、蚀刻、灰化/剥离制程以及非晶/微晶硅电池沉积工艺中的低腐蚀和超低颗粒要求而开发。Kalrez® 9100部件在以上环境中表现出超长的寿命，减少昂贵的设备停工损耗并降低设备维护成本。

位于美国得克萨斯州奥斯汀的全球领先的闪存供应商Spansion公司，较近通过在使用腐蚀性的SiH4, O2,He加工环境和NF3及O2等离子体的两步清洗化学品的Fab 25工厂中改用Kalrez® 9100产品，成功的改善了原先的设备检修周期，使产量提高超过20%，设备维修成本也显著降低。

类似的关于Kalrez® 9100部件的应用案例还包括：

·         IMEC，硅加工及设备技术部

·         奇梦达，Kalrez® 9100现在已被选择为其11个不同的DTE chamber密封套件提供密封件，并且正考虑在其他四个部位的应用。

www.dupontelastomers.com

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• ...2008/11/17 10:35·杜邦高性能弹性体推出KALREZ 8900部件