KLA-Tencor 推出 8900 检测系统

2009年10月13日10:14:19 本网站我要评论(2)字号：T | T | T

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专为半导体和相关行业提供工艺控制及成品率管理解决方案的全球领先供货商 KLA-Tencor 公司（纳斯达克股票代码：KLAC) 宣布推出了 8900 缺陷检测系统，正式将系列产品之触角延伸至 CMOS 影像感应器 (CIS) 市场。KLA-Tencor 公司的全新产品 8900 提供可选光波长、与 CIS 像素匹配的色彩，以及同步明场和暗视野的光通道，能捕捉各种缺陷类型；并有可调灵敏度及产能设定功能，为从初始产品开发到滤色镜阵列 (CFA) 大规模生产提供具有成本效益的缺陷管理。
影像感应器是可将光线转换成电子讯号的装置，主要用于相机。滤色镜可让感应器的每个像素对特定色彩 (一般而言是指红色、绿色或蓝色 (RGB)) 做出反应。CFA 是由单色图形层建构而成，其中每个感应器像素上都有一个滤镜。每个像素上都有一个微透镜。组装流程的任何步骤都可能产生良率限制缺陷，8900 可检测任一滤镜或微透镜层，有助于减少材料浪费且缩短生产周期。
8900 缺陷检测系统已于近期安装在滤色镜行业领头羊 - Toppan Printing Company, Ltd. - 的第一个 300mm 先进 Color Filter 厂内。“先进的缺陷控制是决定我们能否以可靠方式提供先进的滤色镜的重要因素，8900 已大幅改良了缺陷控制功能并变更了我们的策略。”Toppan Electronics Products Co., Ltd. 熊本厂OCF 部門总经理 Keiichi Hara 说道，“因为 8900 对于各种缺陷类型都相当灵敏，并可大幅提高产能，所以可以用其执行 CFA 工艺涉及的所有缺陷检测。此前，完成此操作需采用多种检测工具。8900 也可以自动执行缺陷监控工作(之前需要手动检测)，有助于缩短生产周期和预测上市时间。”
“影像感应器晶片厂已经综合使用各种缺陷检测系统 (包含手动检测)，以覆盖 CFA 流程开发、生产线监控和进厂及出厂之质量控制。”KLA-Tencor SWIFT 部门副总裁暨总经理 Oreste Donzella 说，“实施这种策略会导致错误和低效率。例如，手动检测结果的可变性很大。即使使用自动化系统，也可能会遗漏掉关键的缺陷偏移问题，因为比较不同系统的结果非常困难。在开发 8900 时，我们利用了 KLA-Tencor 在明场和暗视野微观及宏观检测的丰富经验，进而为影像感应器晶片厂提供单一且有弹性的系统，尽力满足他们在 CFA 检测方面的需求。我们相信 8900 可帮助晶片厂改良资源配置、提升目前产品之良率并缩短其较新影像感应器的上市时间。”
8900 缺陷检测系统的主要功能有：
• 同步明场及暗视野光学路径，可捕捉单一通道中的各种缺陷类型，例如微透镜变形、阻抗及落面缺陷、色彩沾污、大污点及条痕；
• 可选 LED 检测，CIS 滤境色彩匹配光谱检查；
• 符合先进 CIS 路径图要求的灵敏度；
• 在保持生产灵敏度下每小时 300mm 半导体晶圆产能达 110 晶圆以上；
• 依类型自动装仓缺陷；
• 自动感应器决定错置通过/不过关；
• 自动检查色彩以验证缺陷。
如想取得 8900 的更多技术详细数据，请参看产品网页：http://www.kla-tencor.com/patternedwafer/8900.html。
关于 KLA-Tencor：
KLA-Tencor Corporation（纳斯达克股票代码：KLAC）是工艺控制与良率管理解决方案的领先提供商，它与全球客户合作，开发先进的检测与度量技术。这些技术为半导体、数据储存、化合物半导体、光电及其它相关奈米电子产业提供服务。公司拥有广泛的业界标准产品组合及世界一流的工程师与科学家团队，三十余年来为客户努力打造优秀的解决方案。KLATencor的总部设在美国加利福尼亚州 Milpitas，并在全球各地设有专属的客户运营与服务中心。如需更多信息，请参观网站 www.kla-tencor.com。(KLAC-P)

KLA-Tencor 推出 8900 检测系统

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