世伟洛克CR-288浓度监测器获2008较佳产品奖
世伟洛克CR-288浓度监测器被半导体国际杂志授予2008年较佳产品称号。CR-288浓度监测器是获该刊第19届年度“编辑选择较佳产品奖”的20个产品之一。该奖项用于表彰杰出的半导体制造及相关工业用产品。获奖产品是由半导体国际杂志编辑委员会评选产生的。
半导体国际杂志总编Laura Peters说:“我们的较佳产品奖与其它方面的不同。我们表彰的是已经得到用户认可的、经过实际验证的产品和材料,这些产品和材料的优异性能和/或能力是竞争产品或材料所不能达到的。我们很高兴表彰了很多个人和公司,是他们的努力工作为市场带来了创新产品。”
CR-288浓度监测器满足了半导体制造业的一项关键需求,即设备制造过程中所用液体化学品的更好监测与控制。这种产品可以安装在工艺流内或化学品被传输或混合的使用点处,能够提供实时的、高准确度的工艺流体浓度与温度。
利用专有的软件,技术人员可以针对半导体实验室或蚀刻、晶圆清洗、光刻胶沉积与清除、化学机械研磨(CMP)等制造工艺使用的化学品混合物对设备进行校准。这种监测器使用一个数字显示单元监测多达四个不同流体流,能够帮助半导体制造工业降低化学品消耗、改善工艺控制、提高工艺可见度、检查工艺问题、减少晶圆报废率、提高生产率。
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