我国自主研发的硅片“消毒车间”亮相工博会

据上海市政府网站报道，将近两米高的长方形箱体内，几片硅片可以在里面接受“清洗”。11月4日，这款由上海企业自主研发的硅片“消毒车间”亮相工博会。

要制造一个硅片成品过程非常复杂，从刻蚀到清洗大约需要经过三百多道工艺。中国的半导体产业大多集中于硅片制造环节，而像硅片清洗设备制造这样的高附加值领域，国内仍存在空白。由盛美半导体设备（上海）有限公司研发的这套设备，是国内首个具有自主知识产权的12英寸单片晶圆清洗设备。

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