GLOBALFOUNDRIES与SVTC合作，加速推动微机电系统(MEMS)晶圆量产

达成CMOS量产将有助MEMS市场持续快速成长

2010年10月13日, 北京讯 - GLOBALFOUNDRIES今天宣布与SVTC 技术公司结成战略联盟，加速进行微机电系统(MEMS)的量产制造。这项合作着重于技术开发合作，将有助GLOBALFOUNDRIES达成目标，成为MEMS晶圆厂的领导者。

微机电系统(MEMS)是半导体市场成场较快的区块之一，MEMS应用广泛，从车用感应器、到喷墨打印机、到高端智能手机与游戏控制器都有MEMS的应用。然而MEMS的制造过去主要局限于特定的晶圆制造厂，采用“单一制程、单一产品”的方式。为了让MEMS市场得以持续快速成长，GLOBALFOUNDRIES正采取积极策略，通过与CMOS流程类似的标准化方式，将MEMS从特定制造平台转移到量产平台。

200mm晶圆事业部高级副总裁兼GLOBALFOUNDRIES新加坡总经理Raj Kumar表示：“在MEMS转移到CMOS量产方面，GLOBALFOUNDRIES万事具备，可望扮演领导者角色。我们在MEMS制造方面向来表现优异，也有许多以CMOS为基础的科技可以运用到MEMS上。目前已有计划要增加基础建设与专业技术来支持在3E晶圆厂提供专属的MEMS生产线，目标是在2011年第三季前开始MEMS装置的量产。”

新兴硅晶圆科技商用服务供应商的领导者SVTC，将提供全面的开发设施，协助GLOBALFOUNDRIES使用全系列的先进CMOS与MEMS设备，为顾客开发硅晶圆解决方案。SVTC也将为GLOBALFOUNDRIES工程师提供MEMS技术研发支持及培训。

SVTC首席执行官Bert Bruggeman表示：“MEMS技术市场正蓬勃发展，但无晶圆厂设计公司目前可将MEMS设计量产上市的选择有限。我们相信，我们较尖端的研发设施与MEMS专长将协助GLOBALFOUNDRIES改造MEMS晶圆市场环境，为世界顶尖设计公司提供量产CMOS制造服务。”

GLOBALFOUNDRIES在MEMS方面的研发将先着重于三种应用：加速计、陀螺仪及无线电射频微机电系统。加速计在手机与消费电子产品上提供高级用户体验；陀螺仪提供个人导航的影像稳定与方向侦测能力；无线电射频微机电系统则支持手机的多频段操作，同时缩小手机体积并减少电力消耗。

GLOBALFOUNDRIES的MEMS产能主要来自位于新加坡的3E晶圆厂。该地区正迅速成为MEMS市场的重要枢纽，而GLOBALFOUNDRIES也在其中扮演重要角色。GLOBALFOUNDRIES 是新加坡科技研发局(A*STAR) MEMS集团(MEMS Consortium)的创立成员之一；集团成员包括多个跨国公司，涵盖从电脑辅助设计(CAD)到封装的完整MEMS供应链。

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