FSI国际再次收到一家砷化镓代工厂对POLARIS® 光刻系统的订单

FSI国际有限公司（纳斯达克：FSII），日前宣布再次收到POLARIS^®显微光刻系统订单，该订单来自一家领先的砷化镓(GaAs)器件代工厂。这一订单代表了GaAs客户数量不断增长的趋势，他们选用POLARIS，缘于该系统的卓越性能加上公司在敏感砷化镓底材处理方面的15年经验。

“随着宽带无线和有线通信市场器件制造商数量的快速增长，我们感受到他们对POLARIS系统兴趣的不断提升，”FSI董事长兼首席执行官Don Mitchell说道。“POLARIS产品的灵活性允许我们的客户在同一系统上处理多种尺寸的GaAs和氮化镓（GaN）底材，而无需更换硬件或软件。这种可同步处理多种晶圆尺寸的能力在不影响工艺性能的同时，将灵活性提高到更高水平。”

预计宽带无线和有线通信器件供应商的订单将有所增长，FSI将重点放在进一步扩展这一重要市场。

FSI POLARIS显微光刻系统可为尺寸在100mm 和300mm之间的晶圆提供附着剂和光阻涂布、烘干、冷却和工艺开发。POLARIS 系统以其庞大的安装量，为包括薄膜磁头、生医设备以及GaAs在内的多种应用和行业提供服务。。

相关阅读:

• ...2009/03/26 15:44·FSI国际宣布将ViPR™全湿法去除技术扩展到NAND存储器制造
• ...2009/01/15 09:42·FSI收到重要半导体制造商ORION® 单晶圆清洗技术后续订单
• ...2009/01/06 08:42·FSI国际ORION® 单晶圆清洗系统获得重要半导体制造商订单
• ...2008/11/10 18:31·FSI国际在上海推出ORION® 单晶圆清洗系统
• ...2008/11/06 10:30·FSI国际推出ORION® 单晶圆清洗系统
• ...2008/11/05 10:40·FSI国际推出ORION单晶圆清洗系统 可扩展至450mm晶圆生产